实验设备

F a c i l i t i e s

2

化学气相传输（CVT）系统

碳纳米管（CNT）低压化学气相沉积（LPCVD）系统

2

氮化硼（BN）低压化学气相沉积（LPCVD）系统

2

过渡金属二硫化物（TMDC）低压化学气相沉积（LPCVD）系统

3

常压化学气相沉积（APCVD）系统

2

高温化学气相沉积系统

晶圆级全自动化学气相沉积（CVD）系统


1

1

...

材料合成

Horiba Nanolog

PL, PLE, lifetime






Keysight 4200






1

1

1

1

2

1

1

Raman-TERS（尖端增强拉曼光谱仪）

可见近红外荧光光谱仪（PL）

原子力显微镜（AFM）

扫描电子显微镜（SEM）

透射电子显微镜（TEM）

紫外-可见-近红外光学吸收光谱仪

阴极发光光谱仪（CL）

热重分析仪（TGA）

1

材料表征

Aberration 

corrected TEM


Thermal Gravity Analysis


UV-vis-NIR 

optical absorption

Shimadzu 

3600i plus



...

1

真空低温探针台

半导体参数分析仪

室温探针台

热蒸发系统

电子束光刻（EBL）

电子束蒸发系统

磁控溅射系统

无掩模光刻系统

1

2

1

1

1

1

1

器件制造与表征

EBL

Raman spectroscopy  +  nanolog PL


Aberration corrected TEM/STEM

...

3

1

1

1

光学显微镜

超速离心机

高速离心机

手套箱惰性气体互连系统

其他

SEM


SEM-ebeam


...

浙江大学


地址 :                                   杭州市西湖区余杭塘路866号

教授办公室 :                       浙江大学紫金港校区开物苑5-346

材料合成实验室 ：               紫金港校区西校区4号楼124室

表征实验室 ：                      紫金港校区精工中心106室




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